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太阳能硅片堆叠上料设备
太阳能硅片激光划片工艺端:实现硅片在线自动上料、激光裂片(光纤激光器)、下料这一工艺流程,硅片规格:156.75*156.75太阳能硅片PECVD工艺端:实现堆叠码放的来料硅片自动分料、码放入花篮这一工艺流程,缓存区域(5花篮共500pcs硅片),硅片规格:156.75*156.75