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太阳能产品
半导体产品

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                                                       PECVD全自动上下料设备

        太阳能硅片PECVD工艺端：实现MEYER BURGER MAiA背钝化设备自动下料、码放入花篮，自动从花篮抽片给设备上料这一工艺流程，缓存区域(5花篮共500pcs硅片)，硅片规格：156.75*156.75


名称单位数值
外形尺寸mm3670*3780*2296（约）
运行节拍
pcs/s1pcs/s
本体重量kg1500Kg（约）
3C产品
制造业产品
食品行业产品
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